等離子廢氣處理工藝是主要應用于廢氣中含有油霧或者白煙,廢氣是低濃度,小分子結構廢氣.等離子的高壓電極能很好地分離廢氣中的固態,液態顆粒.廢氣濃度不宜過高否則有爆炸風險。等離子廢氣處理還有一個作用就是裂解小分子結構廢氣成分，并產生臭氧氧化小分子廢氣而達到凈化效果。

等離子廢氣處理工藝實際上是一種電催化氧化工藝，設備在電催化總的設計概念下被分成三個即獨立又混成的激發系統。這三個激發系統分別是微波激發區、等離子激發區和極板激發區，每個激發區分別有它特定的功能但在原理上卻又有它相似的地方。

1、等離子廢氣處理工藝之微波激發區

等離子廢氣處理工藝一般有3至9個微波激發單位，具體的數量根據被處理廢氣風量的不同而不同。微波激發區因頻率高和功率低而被作為設備的初頻激發源，在處理過程中能夠極大的提高等離子體區和極板區的激發能力和處理效果。

2、等離子廢氣處理工藝之等離子體激發區

等離子體激發區是等離子廢氣處理工藝的核心技術，一般配備有40至240支充有特殊氣體的無極管。等離子體激發區借助低氣壓的無極燈作為該區域的激發體，可以最大限度地在該區域實現低溫等離子體區。

3、等離子廢氣處理工藝之極板區

根據需要處理廢氣的風量等離子廢氣處理工藝的極板區電壓可分為12KV、16KV以及42KV。極板區加以足夠高的電壓后在風機抽送的作用下，在常壓或者接近常壓的條件下大部分的粒子能夠實現低溫等離子體的激發。

等離子廢氣處理工藝應用范圍：

1、等離子廢氣處理工藝適用于實驗室廢氣處理、食品廠廢氣處理、塑料廠廢氣處理、瀝青廢氣治理、制藥廢氣處理、油漆漆霧廢氣治理、印刷廠廢氣處理和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣，相比于傳統的廢氣處理方法它具備無需再生處理原料、無需專人負責、不產生二次污染以及更換和維護保養方便的優點。

2、等離子廢氣處理工藝適用于處理低濃度的VOCs廢氣（一般低于200mg/m3為佳），并且應保證廢氣的濃度遠低于爆炸下限以確保不存在爆炸危險。

3、等離子廢氣處理工藝對于廢氣的平均處理凈化效率可以達到68%以上，適用于苯、甲苯、甲醛、氨氣、硫化氫、二甲苯、丙烯腈、苯酚、丙烯醛、乙醛、三甲胺、甲硫氫、苯乙烯、二硫化碳、二甲基二硫、甲硫醚、甲硫醇、非甲烷總烴等有機廢氣等氣體的處理。

等離子廢氣處理工藝基本原理：

等離子廢氣處理工藝集低溫等離子體、微波放電和極板放電于一體，設備在放電的過程中雖然電子的溫度很高，但是溫度很低的重粒子卻使整個體系呈現低溫狀態，所以該設備才被稱為低溫等離子體凈化設備。

等離子廢氣處理工藝在外加電壓達到氣體的放電電壓時，會將氣體擊穿并產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。設備利用這些活性粒子與廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

詳細過程為異味氣體從氣體收集系統收集后進入等離子設備，氣體分子在高能電子的作用下受激發造成帶電粒子或分子間的化學鍵被打斷。與此同時空氣中的水和氧氣在高能電子的轟擊下也會產生活性氧和OH自由基等強氧化性物質，這些性物質也會與氣體分子進行反應并使其分解從而促進異味消除。經過等離子廢氣處理工藝凈化后的氣體經排氣筒高空達標排放。等離子廢氣處理工藝一般和離心廢氣預處理工藝、活性炭吸附廢氣工藝、廢氣處理噴淋塔凈化等工藝結合使用方能達到理想處理效果。