含氟廢氣通常是指含有氣態HF和SiF₄的廢氣，其主要來源于冶金工業的鋁電解和煉鋼過程，化學工業的磷肥生產以及建筑行業的陶瓷、玻璃、水泥和磚瓦等生產過程。含氟廢氣的處理方法主要有濕法吸收和干法吸附兩種，根據吸收劑的不同又將吸收凈化法分為水吸收法和堿液吸收法。

　　吸附凈化法是將含氟廢氣通過裝填固體吸附劑的吸附裝置進行吸附從而達到除氟的目的，可以采用工業氧化鋁、氧化鈣和氫氧化鈣等作為吸附劑。比如凈化鋁電解廠含氟廢氣常采用的吸附劑為工業氧化鋁，吸附含氟廢氣的氧化鋁可直接進入電解鋁的生產過程中，不存在吸附劑再生的問題且凈化效率高達98%以上。

　　含氟廢氣干法吸附法在凈化的過程中不存在含氟廢水避免了二次污染的產生。和其他凈化方法相比干法吸附凈化基建費用和運行費用都是比較低的，并且可適用于各種各樣的氣候條件，特別是在北方冬季也不存在保溫防凍的問題。

　　濕法吸收處理含氟廢氣技術采用水、堿性溶液或某些鹽類溶液來吸收廢氣中的氟化物從而達到凈化回收的目的。該技術的優點是凈化設備體積小、易實現，凈化工藝過程可連續操作和回收各種氟化物且凈化效率高、效果好。其缺點是會造成二次污染且在寒冷地區需要安裝保溫措施。

　　水吸收法是利用HF和SiF₄都極易溶于水的特點，氟化氫溶于水生成氫氟酸，四氟化硅溶于水則成為一定濃度的硅氟酸和硅膠。硅氟酸可與工業食鹽反應生成副產物氟硅酸鈉，氫氟酸和氟硅酸溶液可以用來制取冰晶石、氟硅脲以及氟硅酸鈉等產品。

　　堿液吸收法則是采用堿性物質（NaOH、Na₂CO₃和氨水等）作為吸收劑來脫除含氟廢氣中的氟，同時得到副產品冰晶石。該法適用于排氣量小、廢氣中含氟量低和回收氟有困難的企業如搪瓷廠、玻璃馬賽克廠以及水泥廠等。